四寸外延石墨盘

‌弘信新材半导体用4寸外延石墨盘——高纯度，耐高温，外延工艺的理想选择

弘信新材专注于半导体用4寸外延石墨盘的研发与制造，致力于为高端半导体制造领域提供高性能石墨材料解决方案。我们的石墨盘以超高纯度、耐高温和优异热控性能为核心优势，成为半导体外延工艺中不可或缺的核心组件。

产品特点：

• 超高纯度：采用99.999%以上高纯度石墨，确保在高温和真空环境下无杂质析出，满足半导体外延工艺对材料纯净度的严苛要求。

• 耐高温性能：可承受高达2000℃的极端高温，热膨胀系数低，抗热震性能优异，适应快速升降温需求。

• 优异热控性能：具备出色的导热性和热辐射性能，能够实现均匀的热场分布，保障外延层高质量生长。

• 精密加工：通过先进的CNC加工技术，确保石墨盘尺寸精度达到微米级，完美适配4寸外延设备需求。

• 长寿命设计：经过特殊抗氧化和耐腐蚀处理，延长使用寿命，降低设备维护成本。

应用领域：

• 半导体外延工艺：用于MOCVD、MBE等外延设备中，承载晶圆并实现高质量外延层生长。

• LED制造：用于GaN、GaAs等化合物半导体材料的外延生长。

• 功率器件制造：用于SiC、GaN等宽禁带半导体材料的外延工艺。

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我们为客户提供高性能、高可靠性的4寸外延石墨盘，助力半导体外延工艺的每一步！