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浏览弘信新材石墨作为国内先进的石墨解决方案专家,拥有多年的石墨盘加工经验,是Veeco石墨烤架供应商。
石墨烤架(如Veeco 7槽篮式)在LED制造流程中主要用于外延生长阶段,特别是在MOCVD设备中承载和加热衬底,确保外延层的高质量生长。其高导热性、热稳定性和化学稳定性使其成为LED制造中不可或缺的关键部件。
弘信新材出厂的石墨盘适配“Veeco MOCVD”及“EPIK868机型”。采用等静压高纯石墨R8710/R8810材质(灰分≤5ppm)及耐温极限(2300℃);
支持槽位数量(5-9槽)、槽深(±0.1mm精度)调整,覆盖主流GaN-on-SiC及GaN-on-Sapphire工艺。支持非标定制,交期15天。
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