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半导体用石墨纸及石墨箔/SGL Graphite Foil密封石墨纸等离子蚀刻腔室屏蔽

2024-04-30 16:10 820 浏览

‌随着第三代半导体行业的快速发展,碳化硅(SiC)等材料的制造对高温、高纯度材料的需求不断增加。我公司推出的半导体用石墨纸及石墨箔,专为满足半导体制造中的高温、隔热、密封等需求而设计,具有卓越的导热性、导电性和化学稳定性;

产品特性

超高纯度:石墨纸和石墨箔采用高纯石墨材料,纯度高,杂质含量极低,确保在高温环境下不污染半导体材料。

卓越的导热性:石墨纸和石墨箔具有优异的导热性能,能够快速传导热量,确保工艺过程的高效性和稳定性。

耐高温性:可在高达3000°C的高温环境下使用,适用于惰性气体或真空环境。

柔性与可定制性:石墨纸和石墨箔具有类似纸张的柔软性和可塑性,可根据客户需求定制各种尺寸和形状。

化学稳定性:在高温和高真空环境下表现出色的抗腐蚀性和抗氧化性。

应用领域

半导体制造:用于化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、离子注入等工艺中的隔热材料、柔性层和密封材料。

晶体生长:作为保温筒、隔热材料和反射层,确保晶体生长过程的稳定性。

高温设备:适用于高温炉、热场系统中的隔热和密封部件。

公司优势

专业经验:多年专注于半导体用石墨材料的研发和生产,积累了丰富的行业经验。

技术支持:提供专业的技术咨询,帮助客户优化工艺,提升生产效率。

质量保证:严格的质量检测流程,确保每一件产品都符合国际标准。

更多信息访问宁波弘信官网:www.hon-sin.com,24小时服务热线13636546116

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